Expertendiskussion mit INP Greifswald

PostDoc Dr. Ante Hecimovic, Mitglied des SFB-TR 87, wurde eingeladen einen Vortrag zum Thema "Magnetron sputtering - plasma and thin film growth" am Leib­niz-In­sti­tut für Plas­ma­for­schung und Tech­no­lo­gie e.V. (INP Greifs­wald) zu halten. Der Vortrag war für die Öffentlichkeit zugänglich. Im Anschluss diskutierte das SFB-Mitglied in Expertenrund die Anwendung von "Magnetron Sputtering", im Besonderen von Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern (HiPIMS).
 
Foto v.l.n.r.: 
Dr. Ante Hecimovic und Dr. Maik Fröhlich

Tutorial „Thin Film Growth Phenomena“

(c) icmm csic

Am 6. Oktober 2015 wird Prof. Jose M. Albella vom Institute of Materials Science of Madrid (ICMM-CSIC, Madrid, Spain) einen Tutorial zum Thema "Thin Film Growth Phenomena" leiten. Von 10.30 - 14.30 Uhr gibt er einen allgemeinen Überblick und taucht tiefer in die Thematik ein. Das Tutorial findet an der Ruhr-Universität Bochum, in Gebäude ID, Raum ID 04/401 statt.

Alle Interessentinnen und Interessenten können sich bis zum 30. September via Email an carles.corbella(at)rub.de anmelden.

Special Issue: Electron heating in technological plasmas

(c) Wilczek

Die Mechanismen der Elektronenheizung technologischer Plasmen sind komplex, vielfältig und nicht vollständig verstanden, aber von grundlegender Bedeutung. Die Sonderausgabe „Electron heating in technological plasmas“ der Plasma Sources Science and Technology verbindet den aktuellen Stand der Technik mit neuen Ideen aus Theorien und Experimenten und widmet sich der Lücke zwischen Grundlagenforschung und Anwendung. Guest Autor ist PD Dr. Thomas Mussenbrock, Mitglied des SFB-TR 87, gemeinsam mit Prof. Dr. Julian Schulze von der West Virginia University, USA.

Die Sammlung wissenschaftlicher Veröffentlichungen setzt sich aus hochkarätigen Autoren zusammen. Mit dabei sind zahlreiche Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler aus dem Sonderforschungsbereich und enge Kooperationspartner.

Weitere Informationen zum Special Issue gibt es auf der Website von IOP Science. 

Plasmatechnik jetzt schon im Bachelor

Ab dem Winter Semester 2015/16 gibt es für Studierende der Elektrotechnik an der Ruhr-Universität Bochum erstmals die Vorlesung "Elektrophysik". Damit können Studierende bereits im Bachelorstudium in die Plasmatechnik schnuppern. Die Vorlesung wird donnertags von 14:15 Uhr bis 15:45 Uhr angeboten. Dozent ist Dr. Thomas Mussenbrock, Mitglied des SFB-TR 87.

Weitere Informationen gibt es hier.

Rückblick: SFB-TR 87 Kooperationsvortrag bei der ICMTF 2015

Vom 20. bis zum 24. April 2015 fand die International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF) statt. Die ICMCTF ist international als führende Konferenz auf dem Gebiet der Dünnschicht-Deposition und -Charakterisierung und der erweiterten Oberflächentechnik bekannt. Sie bringt sowohl Wissenschaftler als auch Ingenieure aus dem industriellen Bereich zusammen. Jährlich nehmen ca. 700 Interessierte an den 37 Vortragssitzungen teil. Auch in diesem Jahr war der SFB mit Teil­projekten vertreten. Mostafa Arghavani, der als Bearbeiter des Teilprojekts A4 „Beschreibung des elastischen und plastischen Verhaltens nanostrukturierter Schichten“ seitens des Institut für Oberflächentechnik im SFB tätig ist, stellte im Vortrag „Investigation on Plastic Behavior of HPPMS CrN, AlN and CrN/AlN-Multilayer Coatings using Finite Element Simulation and Nanoindentation“ Ergebnisse des Teilprojektes A4 vor. Dieser Beitrag ist durch eine erfolgreiche Kooperation zwischen dem Institut für Oberflächentechnik der RWTH Aachen University und dem Department of Mechanical and Computer-Aided Engineering sowie dem Institute of Mechanical & Electro-Mechanical Engineering, der National Formosa University in Taiwan entstanden. Ein Highlight war die Vorstellung einer neuartigen Methode zur Ermittlung von Fließkurven dünner HPPMS-Beschichtungen mit Hilfe von Nanoindentation und FEM-Simulation.

Reden halten im Fünfschritt - Präsentationstraining mit Prof. Dr. Michael Thiele

Am 31.8. und 1.9.2015 fand an der RUB ein vom IGK finanziertes Präsentationstraining statt, an dem Doktoranden und auch Studenten teilnehmen konnten. Von jeweils 9.00 Uhr bis 16.00 Uhr lernten Interessierte von Coach Michael Thiele, wie sie ihre "Skills" in Vorträgen verbessern konnten.

Das Gelernte erstreckte sich von der Verbesserung gehaltener Vorträge über Freies Reden bis hin zum Halten von Reden und die sechs Teilnehmer erfuhren auch, wie man ein Feedback konstruktiv gestaltet. Alle waren sich am Ende einig, dass sich das Training gelohnt hat und auf zukünftige Präsentationen vorbereitet hat.

Sven Dirkmann hält eine Übungspräsentation

Prof. Dr. Michael Thiele, der 2001 an der Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf am Fachbereich Evangelische Theologie habilitiert hat, hat zuvor unter anderem Germanistik, Philosophie und Linguistik studiert und zusätzlich einen Abschluss in Theaterwissenschaften erworben. Thiele, der 1976 die Bühnenreifeprüfung für Schauspiel und Musical ablegte, ist seit 1979 erfolgreich als Kommunikationsberater tätig. 

SFB-TR 87-Kooperation von TP A1 und TP C6: Vortrag bei HIPIMS-Konferenz

Vom 10. bis zum 11. Juni 2015 fand die 6^th International Conference on Fundamentals and ApplIications of HIPIMS, kurz HIPIMS, in Braunschweig statt. Bei der HIPIMS Conference handelt es sich um eine der wichtigsten Konferenzen mit dem Fokus auf der Herstellung und Charakterisierung dünner Beschichtungen, die mittels High Power Pulse Magnetron Sputtering (HPPMS) synthetisiert werden. Die Konferenz ist durch die unterschiedlichen Sessions derart konzipiert, dass sie gleichsam eine gemeinsame Interessens- und Diskussionsplattform für Industrie und Wissenschaft bietet. Auch in diesem Jahr war der SFB mit Teilprojekten vertreten. Nathan C. Kruppe, der als Bearbeiter des Teilprojekts A1 „High Power Pulse Magnetron Sputtering (HPPMS) Schichtsynthese und Prozessverständnis“ im SFB tätig ist, stellte im Vortrag „Influence of High Power Pulse Magnetron Sputtering pulse parameters on the reactive gas N₂ in the deposition process of (Cr,Al)N coatings“ Ergebnisse einer Forschungskooperation der Teilprojekte A1 und C6 vor.

Beitrag von Teilprojekt A4 in dem EFDS-Workshop „Messung der Schichthaftung“, Dresden 2015

Am 24. Juni 2015 habe ich, Mostafa Arghavani, Doktorand am Institut für Oberflächentechnik im Teilprojekt A4 des SFB-TR87 auf Einladung an dem Workshop „Messung der Schichthaftung“ der Europäischen Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V (EFDS) in Dresden teilgenommen und einen Vortrag gehalten.

Die EFDS setzt sich in enger Kooperation mit Industrieunternehmen und Forschungsinstituten für die Förderung von Forschung und Anwendung auf

dem Gebiet der Plasmaoberflächen- und Dünnschichttechnik ein. Entsprechend wurden auf dem Workshop Messung der Schichthaftung verschiedene Themen mit Bezug auf den SFB-TR 87 adressiert. Die Analyse der Verbundhaft-festigkeit zwischen Schicht und Substrat ist für das Teilprojekt A4 von sehr großer Bedeutung und stellt einer der thematischen Schwerpunkte dieses Teilprojekts dar. Der Workshop gab mir als Teilnehmer die Möglichkeit, mich über neue Methoden zur Untersuchung der Verbundhaftfestigkeit zu informieren. Insbesondere die Ergebnisse aus Scratch- und Nanoscratchanalysen waren für das Teilprojekt A4 interessant. Weiterhin wurden unterschiedliche Beiträge über Verformungsverhalten von unter-schiedlichen Beschichtungen unter dynamischen Belastungsarten gehalten. Die in den Vorträgen und Diskussionen gewonnen Erkenntnisse, nutze ich aktuell bereits für meine Arbeiten im Teilprojekt A4 und für Kooperationen mit anderen Teilprojekten innerhalb des SFB-TR87.

 

Des Weiteren war es mir als Referent möglich einen Beitrag zum Workshop zu leisten und Forschungsergebnisse vorzustellen, die aus einer Kooperation der Teilprojekte A4 und A1 hervorgegangen sind. Die Teilnahme an dem Workshop und fachliche Diskussion mit Experten im Bereich Verbundhaftung waren eine wertvolle Erfahrung. 

Autor: Mostafa Arghavani 

Talk of Prof. Dr. Vasco Guerra about Kinetic modelling of microwave discharges

On September 3rd, Asst. Prof. Dr. Vasco Guerra from IST Lisboa (Instituto Superior Técnico), Portugal, will visit Dr. Efe Kemaneci from TET (RUB) and give a talk about his research, more precisely about "Kinetic modelling of microwave discharges in O2-containing mixtures". The presentation is going to take place at 11:00 am  in  ID 04/413. All members of the SFB and everybody else interested are welcome to join!

Abstract: A self-consistent kinetic model is developed in order to study the elementary processes occurring in surfacewave microwave discharges in pure O2 and in the mixtures O2-Ar, O2-N2 and O2-N2-Ar. The theoretical formulation is based on the solution of a system of 0-D rate balance equations for the dominant neutral and charged species, coupled to the homogeneous electron Boltzmann equation and to the quasi-neutrality condition, allowing the self-consistent determination of the sustaining reduced electric field E/N. The model is used to investigate different phenomena, such as dissociation in O2 discharges, production of O2(a) and UV emitting species, or the formation of NO and O3 molecules. The extension of the model to situations of small-diameters / low-pressures, where the kinetics is strongly dominated by electron-impact collisions and wall interactions, is briefly discussed.

Prof. Guerra graduated in physics and obtained his Ph.D. in 1998 after having written a thesis on Plasma Physics about Kinetic Modelling of Glow Discharges in Molecular Gases. He then became an Assistant Professor at the Department of Physics of the Instituto Superior Técnico where he is working down to the present day.

(c) Instituto Superior Técnico

Tutorial "Thin Film Growth Phenomena"

(c) Consejo Superior de Investigaciones Científicas

On tuesday 6th October Prof. José-María Albella Martín is going to give a tutorial about Thin Film Growth Phenomena. SFB members and all other interested persons with at least a master's degree are highly welcome.

Prof. Albella's tutorial (Thin Film Growth Phenomena) is going to deal with microscopic processes associated with thin film deposition, from the early stages of atom adsorption, nucleation, etc. to vertical growth of films showing different micro/nanostructures. These topics are going to be treated from a phenomenological perspective by using thermodynamic principles. Finally, the effects of the deposition conditions (pressure, temperature, deposition rate, impurities, etc) on the morphological and structural properties of the films are going to be discussed.

Dr. Albella is Senior scientist at the Surface Physics and Engineering Dept., (Institute of Materials Science, CSIC). Before, he has been a Professor at the Applied Physics Department (Universidad Autónoma de Madrid) where he taught several graduate and doctorate courses on semiconductors, electronic materials and thin films. Presently, he conducts a research group devoted to the study of ceramic coatings for surface treatments for tribological applications (mechanical parts, tools, etc.), using PVD and CVD techniques (sputtering, plasmas, ion beams, etc.).

His course will be taught on Tuesday 6th October in the classroom ID 04/401, and it has two parts:

Part I: Nucleation on the surface (10:30 - 12:00)

Lunch (12:00-13:00)

Part II: Vertical growth (13:00-14:30)

In order to register please send and email to Carles Corbella (carles.corbella@rub.de).

Plasmagrillen beendet Vorlesungszeit

Am 16. Juli 2015 hat der SFB-TR 87 an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik ein Plasmagrillen für BachelorstudentInnen der Vorlesungen "Felder" und "Theoretische Elektrotechnik" veranstaltet. Bei Würstchen und Getränken kamen die Studierenden mit ProfessorInnen und DoktorandInnen der Lehrstühle AEPT und TET ins Gespräch und hatten die Möglichkeit sich über den Masterschwerpunkt "Plasmatechnik" zu informieren.

Workshop auf der V2015

Der SFB-TR 87 bietet am Mittwoch, den 14.10.2015 einen eintägigen Workshop mit dem Titel „Gepulste Hochleistungsplasmen für industrielle Beschichtungsprozesse“ auf der V2015  in Dresden an. Im Rahmen dieses Workshops werden in insgesamt elf Fachvorträge einerseits die wissenschaftlichen Fragestellungen und Erkenntnisse aus den Projektbereichen A, B und C des SFB-TR 87 vorgestellt und andererseits praxisnahe Lösungskonzepte aus der industriellen Anwendung durch namhafte Industrievertreter präsentiert. 

Weitere Informationen zum Workshop entnehmen Sie bitte dem Exposé und dem Workshop-Programm.

Vortrag über die Simulation von Plasmaprozessen

Am Montag, dem 7.7. um 16.00 Uhr hielt Dr. Peter Ventzek von Tokyo Electron (TEL) America einen Vortrag zum Thema „Plasma process simulation: role in process and equipment development“.  Dr. Ventzek ist im Austin Plasma Laboratory Verantwortlicher für die Modellierung und Simulation von Plasmaprozessen und –kammern (Etching, Deposition, Doping).

Der Wissenschaftler war an bereits an vielen Innovationen beteiligt, so entwickelte er unter anderem als Postdoktorand von Prof. Mark J. Kushner zwischen 1992 und 1994 eine multidimensionale Rechenplattform zur Simulation von Plasmaquellen für die Materialverarbeitung an der University of Illinois. Seine Forschung ist sowohl für die Wissenschaft als auch die Industrie von Belang.

Nicht zuletzt aufgrund der industriellen Relevanz des Unternehmens - TEL gehört zu den weltweit größten Ausrüstern für die Halbleiterindustrie - war Dr. Ventzeks Vortrag nicht nur für SFB-Mitglieder hörenswert.

Vorwissenschaftliches Arbeiten

Jakob Raffler schreibt im Rahmen seiner österreichischen Matura (Abitur) eine vorwissenschaftliche Arbeit im SFB-TR 87. Jakob kommt vom Bundesrealgymnasium GRG 23 Altererlaa in Wien. Für seine Arbeit "Forschung an gepulsten Hochleistungsplasmen an der Ruhr-Universität Bochum" benötigt er Informationen aus erster Hand. Deshalb ist Jakob vom 06. Juli bis zum 10. Juli Gast am SFB und arbeitet gemeinsam mit SFB-Wissenschaftler Christian Maszl (Projekt C3) theoretisch und experimentell an Plasmen und ihren Anwendungen. Für März 2016 ist die Abgabe mit Präsentation an der österreichischen Schule geplant.

Der SFB-TR 87 wünscht viel Erfolg bei der Arbeit!

Du möchtest auch eine vorwissenschaftliche Arbeit beim SFB-TR 87 schreiben oder ein Praktikum machen? Dann melde dich unter info@sfbtr87.de

Talk: Plasma Process Simulation

(c) Tokyo Electron

On Monday the 6. of July Dr. Peter Ventzek from Tokyo Electron America is giving a talk on "Plasma process simulation: role in process and equipment development". The talk starts at 4 pm, in room ID 03/463. All interested are highly welcome. 

Dr. Peter Ventzek is a Member of Technical Staff with Tokyo Electron (TEL) America where he is responsible for plasma process modeling and simulation. His research dealt with plasma process control, laser ablation, neutral beam sources and atmospheric pressure discharges. Dr. Ventzek has published over 60 journal articles.

Technische Hochfrequenzplasmen mit Prof. Schulze

Der hochkarätige Gast und Dozent Prof. Dr. Julian Schulze von der West Virginia University in den USA wird vom 13. bis zum 17. Juli 2015 eine Blockveranstaltung geben. Thema der Veranstaltung ist "Technische Hochfrequenzplasmen". Die Veranstaltung ist eine Einführung in die theoretischen Grundlagen zur Beschreibung von Transport, Randschicht, Heizungsmechanismen und Gleichgewichtskonzepten in technischen Hochfrequenzplasmen. Verschiedene Entladungstypen (kapazitive und induktive Radio-Frequenz
Plasmen), deren Funktionsweisen und industrielle Anwendungen werden vorgestellt.

Bereits im März besuchte Prof. Schulze die Wissenschaftler/innen der Plasmatechnik. Die Blockveranstaltung ist nur ein Beispiel für die fruchtbare Kooperation zwischen den beiden Standorten. In der jüngsten Vergangenheit wurden bereits gemeinsame Paper veröffentlicht. Mit der Blockveranstaltung haben nun auch Studierende die Möglichkeit in direkten Austausch mit Prof. Schulze zu treten und damit einen Experten auf seinem Gebiet kennenzulernen.

Ansprechpartner:
Sebastian Wilczek
sebastian.wilczek@rub.de

SommerCampus mit dem SFB-TR 87

Der Sommercampus an der Ruhr-Universität Bochum findet vom 29. Juni bis zum 1. Juli 2015 statt. Mit dabei ist der SFB-TR 87 und entführt die Schülerinnen und Schüler der Oberstufen in die Welt der Plasmatechnik. "Aktionen mit Ionen" hieß der Workshop am Montagnachmittag. Nach einer theoretischen Einführung ging es in die Labore. An der ersten Station gab Alexander eine Einführung zu "Plasma und Leuchtmittel", gefolgt von Frederike, die über "Plasma und die Medizin" berichtete. Marcel schloss die Laborführung mit der dritten Station: "Plasma und das Beschichten".

Nach so vielen Einblicken und Anwendungsgebieten konnten die Teilnehmerinnen und Teilnehmer selbst experimentieren. Mit dem Sputter Coater wurden Chips beschichtet und Gase wurden mit Hilfe von Spektroskopie analysiert.

Die Schüleruni der RWTH Aachen richtet sich an alle Schülerinnen und Schüler ab der Jahrgangsstufe 9 und findet in der fünften Sommerferienwoche statt. Wer die Mitglieder des SFB-TR 87 und die Uni in Aachen kennenlernen möchte, findet hier weitere Informationen.

Impressionen vom Plasma-Day 2015

Am 25. Juni fand der Plasma-Day 2015 im Veranstaltungszentrum der Ruhr-Universität statt. Auf dem Plan standen Vorträge von Prof. von Keudell, Prof. Awakowicz, Prof. Brinkmann und vielen anderen. Vorgestellt wurden die neuesten Forschungsergebnisse und die Vielfalt der Plasmatechnik. Modelle und Simulationen von Technischen Plasmen, Plasma und die Medizin, die Dynamik von High Power Pulsed Magnetron Plasmas oder die elektromagnetische Plasmadiagnose sind nur einige Beispiele.

Veranstalter war das Research Department “Plasmas with Complex Interactions" zu dem auch der SFB-TR 87 zählt. Ziel war es, die Interaktion und Kommunikation zwischen den Plasma-Wissenschaftler/innen an der RUB zu stärken.

Weitere Informationen gibt es hier.

Zu den Vorträgen geht es hier.

Schülergruppe besucht SFB-TR 87

Am 19. Juni war der Informatik-Kurs des 9. Jahrgangs der Anne-Frank-Realschule aus Bochum-Gerthe zu Besuch am SFB-TR 87. An der Ruhr-Universität Bochum schauten die interessierten Schülerinnen und Schüler über den Tellerrand in ein anderes Gebiet der Ingenieurwissenschaften - die Plasmatechnik. Zu Beginn stand ein kurzer Einführungsvortrag von PD Dr. Thomas Mussenbrock auf dem Plan. Er gab eine erste Einführung, faszinierte mit dem aktuellen Stand der Technik und alltäglichen Beispielen.



Im Anschluss gab es eine Laborführung. Die Theorie wurde zur Praxis. Hierbei blickten die Schülerinnen und Schüler sowohl in den Bereich der Plasma-Biologie, als auch in die Plasma-Beschichtung. Geräte und Maschinen wurden vorgestellt und die Funktionsweise demonstriert. Das Beschichtungsverfahren von PET-Flaschen war dabei nicht nur für die Schülerinnen und Schüler neu, sondern auch für die begleitende Lehrerin.
 

Abschließend durften die Teilnehmerinnen und Teilnehmer selbst Hand anlegen. In drei Experimenten zündeten sie unter anderem selbst ein Plasma, beschichteten Schlüsselanhänger und Einkaufscoins, analysierten die Zusammensetzung von Licht mit Hilfe von Spektroskopie und untersuchten, wie Plasma auch in der Medizin und Schönheitspflege eingesetzt werden kann.

Eure Klasse hat auch Interesse an einem Praxistag? Dann meldet euch direkt beim SFB-TR 87 oder wendet euch an das IST.Bochum.