Gemeinsamer Workshop mit Pluto +

Gemeinsam mit dem Verbundforschungsprojekt Pluto + plant der SFB-TR 87 einen Workshop zum Thema "Mechanische Spannungen in PECVD/PVD abgeschiedenen Dünnschichten". In diesem Rahmen wird in Form von kurzen Vorträgen nach aktuellem Forschungsstand eine Übersicht über die Grundlagen, Entstehung und Messung mechanischer Schichtspannungen gegeben. Darüber hinaus werden mögliche Einflussfaktoren (innere Prozesse und äußere Einwirkungen) auf die aufwachsende Schicht, als auch die relevanten Parameter zu ihrer Beeinflussung für definierte Schichtsysteme aufgezeigt. Zum besseren Verständnis werden Möglichkeiten der Simulation vorgestellt.

Der eintägige Workshop wird am 03. März 2016 in Hannover am Laserzentrum Hannover stattfinden. Interessierte SFB-Mitglieder werden gebeten sich bis zum 1. Februar 2016 anzumelden.