Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
Am 6. Juli 2011 hat an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, der Ruhr-Universität Bochum (RUB) die 3. Mitgliederversammlung des SFB-TR 87 „Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten“ stattgefunden. Der Sprecher Professor Peter Awakowicz (Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, RUB) hat nach einer kurzen Begrüßung das erste Jahr des Forschungsvorhabens resümiert. Anschließend haben die Projektbereichsleiter Professor Achim von Keudell (Projektbereich C, AG Reaktive Plasmen, RUB), Professor Jörg Winter (Projektbereich B, Experimentalpysik II, RUB) und Professor Jochen Schneider, (Projektbereich A, Werkstoffchemie, RWTH Aachen) die in 2011 gelaufenen Arbeiten vorgestellt. Durch die Arbeitskreise konnten zusätzlich zu den Arbeiten in den Projektbereichen eine Vielzahl von Kooperationsmöglichkeiten gefunden werden. Außerdem wurde das Anliegen eine „gemeinsame Sprache“ zu finden als große Herausforderung der Arbeitskreise identifiziert. Dies wurde durch PD Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock (Arbeitskreis Modellierung & Simulation, Theoretische Elektrotechnik, RUB) und Dr.-Ing. Nazlim Bagcivan (AK Diagnostik & Analytik, Institut für Oberflächentechnik, RWTH Aachen) vorgestellt.
Abschließend hat Professor Ralf Peter Brinkmann (Theoretische Elektrotechnik, RUB) die Arbeiten im Begleitprojekt IGK (Integriertes Graduiertenkolleg) zusammengefasst und PD Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock die Aktivitäten des OEF-Projektes (Öffentlichkeitsarbeit) vorgestellt.
Das 1. Treffen des Arbeitskreises (AK) Diagnostik & Analytik hat am 21.01.2011 in den Räumlichkeiten des Instituts für Oberflächentechnik (IOT) der RWTH Aachen stattgefunden. Auf diesem Treffen wurden die im SFB-TR 87 vorhandenen Analytiken moderiert vom Sprecher des AKs Dr.-Ing. Nazlim Bagcivan vorgestellt. Die am SFB-TR 87 beteiligten Institute können eine Vielzahl von Methoden vorweisen, die es ermöglichen, das Forschungsziel des Vorhabens zu erfüllen. Im Bereich der Plasmadiagnostik ist es beispielsweise mit absolut kalibrierter optischer Emissionsspektroskopie (OES), Absorptionsspektroskopie, Plasma-Absorptionssonde oder phasenaufgelöster OES (PROES) möglich, Plasmaparameter in gepulsten Hochleistungsplasmen orts- und zeitaufgelöst zu bestimmen. Die Schichteigenschaften, die mit Hilfe diesen Plasmen erzielt werden, können z.B. mit Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Infrarot Reflexions-Absorptions-Spektroskopie (IRRAS), Elektronenmikrostrahlanalyse (ESMA), Fourier-Transformations Infrarotspektroskopie (FTIR), Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES) und in-situ Messverfahren zur zeit- und ortsaufgelösten Bestimmung von Schichtspannungen im Beschichtungsprozess untersucht werden. Zur Analyse von Systemeigenschaften stehen beispielsweise modernste Ultrahochvakuum (UHV) Verfahren zur Untersuchung von Anhaftung von Polymerschmelze auf beschichteten Oberflächen zur Verfügung. Abschließend wurden Kooperationen und erste gemeinsame Messkampagnen vereinbart.
Am 20.01.2011 hat am Institut für Oberflächentechnik (IOT) der RWTH Aachen die 2. Mitgliederversammlung des SFB-TR 87 „Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten“ stattgefunden. Der Sprecher Professor Peter Awakowicz (AEPT, RUB) hat auf diesem Treffen das erste Halbjahr des Forschungsvorhabens resümiert und die Richtung für das Jahr 2011 gewiesen. Im Anschluss haben die Projektbereichsleiter Professor Jochen Schneider, (Projektbereich A, MCh, RWTH Aachen), Professor Jörg Winter (Projektbereich B, EPII, RUB) und Professor Achim von Keudell (Projektbereich C, Research Group Reactive Plasmas, RUB) die in 2010 gelaufenen Arbeiten vorgestellt. Alle Teilprojekte konnten mit ihren Arbeiten beginnen und schon erste Erkenntnisse vorweisen. Darüber hinaus konnten durch die Arbeitskreise eine Vielzahl von Kooperationen identifiziert werden, die durch PD Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock (Arbeitskreis Modellierung & Simulation, TET, RUB) und Dr.-Ing. Nazlim Bagcivan (AK Diagnostik & Analytik, IOT, RWTH Aachen) vorgestellt wurden. Abschließend hat PD Dr.-Ing. Thomas Mussenbrock die Arbeiten der Begleitprojekte IGK (Integriertes Graduiertenkolleg) und OEF (Öffentlichkeitsarbeit) vorgestellt.
Am 9.12. fand das erste Treffen des Projektbereichs C am Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik der RUB statt. Vertreten waren die Leiter und einzelne Bearbeiter der Projekte des Bereichs C „Theoretische und experimentelle Beschreibung von Hochleistungsplasmen“. Das Treffen diente der Vorstellung der einzelnen Teilprojekte, wobei Forschungsziele, Methoden und Fortschritte der Projekte thematisiert wurden. Dies gab den Projektbearbeitern die Möglichkeit, sich ein Bild von den anderen Teilprojekten zu machen und ihre eigene Arbeit vorzustellen. Im Fokus stand neben der Präsentation von Vorträgen auch der Austausch, mit dem Ziel, die Zusammenarbeit der einzelnen Projekte zu fördern.
Am 12. November 2o1o hat sich zum ersten Mal der Arbeitskreis Plasma- und Werkstoffsimulation getroffen. Es wurden insbesondere hinsichtlich der verwendeten Simulationsmethoden Quervernetzungen innerhalb des SFB-TR 87 erarbeitet. Ein wichtiges Ergebnis sind erste Ideen, wie der AK-Sim als Plattform für gemeinsame Simulationskampagnen der SFB-TR-76-Doktoranden genutzt werden kann.
