Am 18.5.2010 bewilligte die Deutsche Forschungsgemeinschaft einen neuen Sonderforschungsbereich (SFB-TR 87) zum Thema "Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten" mit einer Fördersumme von mehr als 10 Mio Euro. Arbeitsgruppen der Ruhr-Universität Bochum, RWTH Aachen und Universität Paderborn werden Grundlagen zum High Power Pulsed Magnetron Sputtering (HPPMS) von Oxiden und Nitriden und zur Synthese von Barriereschutzschichten auf Polymeren erarbeiten.
Pressemeldung der DFG.
