Montag, 20. Juli 2015
Mittwoch, 8. Juli 2015
Workshop auf der V2015
Der SFB-TR 87 bietet am Mittwoch, den 14.10.2015 einen eintägigen Workshop mit dem
Titel „Gepulste Hochleistungsplasmen für industrielle Beschichtungsprozesse“ auf der V2015
in Dresden an. Im Rahmen dieses
Workshops werden in insgesamt elf
Fachvorträge einerseits die wissenschaftlichen Fragestellungen und Erkenntnisse
aus den Projektbereichen A, B und C des SFB-TR 87 vorgestellt und andererseits praxisnahe Lösungskonzepte aus der
industriellen Anwendung durch namhafte Industrievertreter präsentiert.
Weitere Informationen zum Workshop entnehmen Sie bitte dem Exposé und dem Workshop-Programm.
Weitere Informationen zum Workshop entnehmen Sie bitte dem Exposé und dem Workshop-Programm.
Dienstag, 7. Juli 2015
Vortrag über die Simulation von Plasmaprozessen
Am Montag, dem 7.7. um 16.00 Uhr hielt Dr. Peter Ventzek von
Tokyo Electron (TEL) America einen Vortrag zum Thema „Plasma process
simulation: role in process and equipment development“. Dr. Ventzek ist im Austin Plasma Laboratory
Verantwortlicher für die Modellierung und Simulation von Plasmaprozessen und
–kammern (Etching, Deposition, Doping).
Der Wissenschaftler war an bereits an vielen Innovationen
beteiligt, so entwickelte er unter anderem als Postdoktorand von Prof. Mark J.
Kushner zwischen 1992 und 1994 eine multidimensionale Rechenplattform zur
Simulation von Plasmaquellen für die Materialverarbeitung an der University of
Illinois. Seine Forschung ist sowohl für die Wissenschaft als auch die Industrie von Belang.
Nicht zuletzt aufgrund der industriellen Relevanz des Unternehmens - TEL gehört zu den weltweit größten Ausrüstern für die Halbleiterindustrie - war Dr. Ventzeks Vortrag nicht nur für SFB-Mitglieder hörenswert.
Vorwissenschaftliches Arbeiten
Jakob Raffler schreibt im Rahmen seiner österreichischen
Matura (Abitur) eine vorwissenschaftliche Arbeit im SFB-TR 87. Jakob kommt vom Bundesrealgymnasium
GRG 23 Altererlaa in Wien. Für seine Arbeit "Forschung an gepulsten
Hochleistungsplasmen an der Ruhr-Universität Bochum" benötigt er Informationen
aus erster Hand. Deshalb ist Jakob vom 06. Juli bis zum 10. Juli Gast am SFB
und arbeitet gemeinsam mit SFB-Wissenschaftler Christian Maszl (Projekt C3)
theoretisch und experimentell an Plasmen und ihren Anwendungen. Für März 2016 ist
die Abgabe mit Präsentation an der österreichischen Schule geplant.
Der SFB-TR 87 wünscht viel Erfolg bei der Arbeit!
Du möchtest auch eine vorwissenschaftliche Arbeit beim SFB-TR 87 schreiben oder ein Praktikum machen? Dann melde dich unter info@sfbtr87.de
Der SFB-TR 87 wünscht viel Erfolg bei der Arbeit!
Du möchtest auch eine vorwissenschaftliche Arbeit beim SFB-TR 87 schreiben oder ein Praktikum machen? Dann melde dich unter info@sfbtr87.de
Freitag, 3. Juli 2015
Talk: Plasma Process Simulation
(c) Tokyo Electron |
Dr. Peter Ventzek is a Member of Technical Staff with Tokyo Electron (TEL) America where he is responsible for plasma process modeling and simulation. His research dealt with plasma process control, laser ablation, neutral beam sources and atmospheric pressure discharges. Dr. Ventzek has published over 60 journal articles.
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