Arbeitskreistreffen in Bochum

Die Vortragenden v.l.n.r.: Benedikt, Corbella, Breilmann, Böke

Am Montag, den 15. Juni 2015, findet das nächste Arbeitskreistreffen mit dem Titel "Plasma diagnostic for thin film deposition and surface treatment" an der Ruhr-Universität in Bochum statt. Veranstaltungsort ist Gebäude ID, Ebene 04, Raum 653.

Das Ziel des Arbeitskreises ist es zu demonstrieren, wie verschiedene Plasma Diagnose Verfahren eingesetzt werden können, um relevante Spezifika der Beschichtung oder der Oberflächenbehandlung zu untersuchen. Der Fokus liegt auf den Voraussetzungen zur erfolgreichen Messung und nicht auf dem Funktionsprinzip der Technologie.

Das Programm:

09:30 Begrüßung / Kaffee
10:00 Resonance probe - Marc Böke
11:00 Retarding Field analyser (RFA) - Carles Corbella
13:00 Lunch
13:30 Mass spectrometry of reactive species - Jan Benedikt
15:00 Mass spectrometry of ions - Wolfgang Breilmann


Alle Fragen zum Arbeitskreis beantwortet Dr. Ante Hecimovic.